气球探测装置

     真空与极端温度相容

     光学线性编码器50nm分辨率

     速度:> 12 mm / s

     行程:60mm

     精度:0.1µm

     轴向负荷:10-50 N

     没有轴向间隙

     从-60℃~60℃（集成温度控制）

     工作压力：低至1mbar